请认准"下载楼"官方域名 http://www.daxingwx.net     第530章 L-5芯片落成 (第2/3页)

约莫在晚上十一点左右才将整个图纸录入计算机，随即进行仿真测试。

    结果不出意外，仿真顺利通过。

    整个研究所便进入了流片的正式工作中。

    ……

    几日后，微电子厂崭新的微电中心。

    新四车间内，原本的L-4生产任务暂停，转由其他车间进行生产。

    陈工亲自在车间内进行协调，以迎接微电子所众人的流片试制。

    如今整个芯片研制过程也越来越偏向后世。

    早期的芯片流片还在微电子所的实验室内。

    如今因为最新的步进扫描光刻机在微电子厂内，流片工作也协调后在厂里进行。

    一如后世真正的芯片工程那般，研究所或者大公司只负责设计与仿真，真正的流片与排期生产则交由工厂。

    专用的精密空调和空气系统已提前开启。

    沈永健、卓邵文以及几位核心骨干同志已穿戴上严密的防尘服，站在庞大的步进扫描光刻机前。

    “掩模版和测试硅片都已经准备就绪。”

    陈工带着身后的钱田宝以及曹俊走近。

    这次流片的前期准备工作，都是由钱田宝与曹俊二人负责。

    二人脸上有些激动和兴奋，哪怕厂里光刻生产早已习惯，但像这种光刻的流片还是第一次。

    且按照陈工前几天交代的，这次要是流片能成，之后微电子所的芯片方案流片都会陆续交由他们工厂负责。

    “开始吧。”

    沈永健透过防尘面罩，注视向钱田宝。

    流片日后预备交给工厂，这次则由他亲自带钱田宝二人进行工作。

    钱田宝点了点头，在主控台上输入了确认指令。

    “晶圆传送开始。”

    整台光刻机正式启动，随着机械结构的响动，一片涂覆着光刻胶的测试硅片被平稳地送入光刻机的真空腔室。

    车间内特殊的黄光亮起，以防止光刻胶提前曝光，屋内空气机组的过滤单元传来极其微弱的白噪音。

    “对准系统启动，激光干涉仪锁定。”

    曹俊紧盯着屏幕上的数据。

    屏幕上，十字对准标记在多次校准后最终完美重合。

    “曝光开始。”

    庞大的步进扫描光刻机内部，深紫外光源瞬间激发。

    掩模台与硅片台在激光干涉仪的精准控制下，再次开始了平滑的同步反

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