请认准"下载楼"官方域名 http://www.daxingwx.net     第一百三十四章：开眼界 (第3/3页)

样大的光罩时。会耗损巨量的时间，极不划算；二来，大面积光罩进行光蚀刻曝光前必须要与晶圆对准，要知道大面积精密定位及防震等问题，在业界看来是极为棘手地，为此所耗费的花费也是极大和极不划算的！所以我们工业界一般采用步进机进行对准曝光；也就是说，即使晶圆大到6寸或8寸，但光罩大小还是只需要小小的1~2寸见方。这样做有明显的优点，一来光罩制备快速，二来小面积对准的问题也比较少；只是要曝满整片晶圆。可能要往复花上数十次对准→曝光→移位的重复动作。但即便如此。由于每次对准→曝光→移位这个过程仅费时1秒左右，一片晶圆的总曝光时间仍控制在1分钟以内。而保持了工厂的高投片率 (high thrugh-put；即单位时间内完成制作之硅芯片数。）虽然不知道贵厂的晶圆是几寸地，但是我觉得你们最好还是一开始就使用步进机，毕竟也可以为后面积累一点经验。”小白同志是难得地说了几句诚恳话，不过他说得也确实有道理，虽然龙腾一下子上马6寸的项目有困难，但就像小白说地一样，经验！设备的使用也是需要经验的！张国栋认同的点了点头，主管晶圆的屠红刚博士那双眼睛又开始发起光来，本来自己手下的都去龙晶电子去实习了让他这个光杆司令是很不爽的，不过在听说张国栋要重新建设一座新的晶圆厂后他马上开心了起来，以后自己也就是一方诸侯了，现在又听说要买好设备，他当然高兴！

    

    “第四块儿是光阻涂布 。说实在的，这块儿很重要。晶圆上微米厚度等级的光阻，是采用旋转离心（spin-ating）的方式涂布上去。其典型程序包括：晶圆表面前处理：即在1°下烘烤一段时间。若表面无氧化层，要另外先上助粘剂，如HDS，再降回室温。换言之，芯片表面在涂敷光阻前要确保是亲水性。第二步是送晶圆上真空吸附的转台，注入光阻，开始由低转速甩出多余的光阻并均布之，接着以转速数千转每秒，减薄光阻至所需厚度。第三步将晶圆表层光阻稍事烤干定型，防止沾粘。但不可过干过硬，而妨碍后续的曝光显影，这也是个度的问题，需要你们去反复实验，不可能一蹴而就，这没有一个固定的标准。一般光阻涂布机的涂布结果是厚度不均。尤其在晶圆边缘部份，可能厚达其它较均匀部份的光阻3倍以上。另外，为了确保光阻全然涂布到整片晶圆，通常注入光阻的剂量，是真正涂布粘着在晶圆上之数十甚至数百倍，极其可惜；因为甩到晶圆外的光阻中有机溶剂迅速挥发逸散，成份大变，不能回收再使用。第块儿也就是最后一块儿是厚光阻。德国Karl-Suss公司开发了一种新型的光阻涂布机，称为GYRSET。他们正在向我们推销，据他们自己说的其卖点在于可减少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理极为单纯：只是在真空转台上加装了跟着同步旋转的盖子。如此一来，等于强迫晶圆与盖子之间的空气跟着旋转，那么光阻上便无高转速差的粘性旋转拖曳作用。故光阻在被涂布时，其与周遭流体之相对运动并不明显，只是离心的彻体力效果，使光阻稳定地、且是呈同心圆状地向外涂布。”

    

    “好啦，时间也差不多了，这身行头穿着也有一定的分量，先生们，请随我离场吧。”张国栋真怀疑这家伙是个德国人，要知道这世界只有严谨得像钢条的德国人才会把时间恰得这么准，完全没有超过一分钟。

    

    尽管还有点意犹未尽，但张国栋知道，这已经是人家给了虞有程天大的面子了，如果不是虞有程，就张国栋这种单单的一个合作伙伴身份，那绝对不可能让他们参观得这么仔细的。虽然没有得到一个字的资料，但是这一行大大的开了龙腾科技的这些骨干的眼界。人说眼界决定一切，从此以后龙腾科技开始告别那种作坊式的科研和生产方式，彻底走入现代化，可以说这趟Intel之行还是大大的有功的！

    

    从Intel出来，已经是中午十一点多快十二点了，这个时候还没到后世美国垃圾食品占据中国主流市场的年代，所以这些人可是一百个吃不惯美国食品的，好在有华人的地方就有唐人街，虽然没有洛杉矶这样的主流唐人街热闹，但好歹找到那么个中餐馆还是不难，所以张国栋就带着这么一大群人浩浩荡荡的杀向唐人街，幸亏他们中是老的老，小的小，而且还有些是步履蹒跚，否则还指不定让人误会成黑社会呢。

    

    按道理Intel是管饭的，不过他们以吃不习惯为借口给出来了，毕竟谈合作是老板张国栋的事情，和他们这些技术人员是屁事儿也没关，如果张国栋是个一点技术也不懂的老板他们说不定还得在旁边指点一下，以防被骗。可现在这小屁孩儿是啥都懂，而且往深度上走张国栋也是厉害非常，人家说事有反常必有妖，可张国栋这小子比妖还厉害，也就由不得他们这群平常鼻孔朝天的家伙不佩服了。

    

    中餐馆的老板眼见来了这么大一群同胞，俗话说得好，老乡见老乡，两眼泪汪汪，可是他们这样的人什么没见过，自然不会一见老乡就泪汪汪了，可是激动还是难免的，催促伙计的声音都大了一些。这么大一群人涌入，让中餐馆这种理论上小本经营的地方一下子满了起来。张国栋前世也在美国呆过，自然能够理解这样一种激动的心情。正好队伍里面也有四川人，这让老板一口子川话就丢了出来。！

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