请认准"下载楼"官方域名 http://www.daxingwx.net     第一百三十三章：晶圆厂参观 (第3/3页)

不进。（所以需要大型鼓风机，将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中）

    

    2、保持温度与湿度的恒定（为了保持这个恒定，大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之，鼓风机加压多久，冷气空调也开多久。这也就是一个同步的问题）

    

    3、所有气流方向均由上往下为主（这一点相当的严格，必须尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配，使粉尘在洁净室内回旋停滞地机会与时间减至最低程度。）

    

    4、所有建材均以不易产生静电吸附地材质为主。（这在87年的中国有点难度，不过军事上应该有相关地建材，张国栋应该能搞定）

    

    、所有人事物进出。都必须经过空气吹浴 (air sher) 的程序。将表面粉尘先行去除。（这也是龙腾科技的标准程序）

    

    6、进出使用人员必须穿戴无尘衣，除了眼睛部位外。均需与外界隔绝接触（人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源，为此务必严格要求穿戴无尘衣，就像现在他们进来，而在次微米制程技术的工厂内，工作人员几乎穿戴得像航天员一样。当然，化妆是在禁绝之内，铅笔等也禁止使用。）

    

    7、使用水只能限用去离子水 (DI ater, de-inized ater)。（这是除了空气以外的又一则严格要求！一来防止水中粉粒污染晶圆，二来防止水中重金属离子，如钾、钠离子污染金氧半 (S) 晶体管结构之带电载子信道 (arrier hannel)，影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率 (resistivity) 来定义好坏，一般要求至17.Ω-以上才算合格；为此需动用多重离子交换树脂、R逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡，才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂，其在半导体工业之使用量极为惊人！所以张国栋又多了一项扶植下游产业的机会！）

    

    8、洁净室所有用得到的气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气 (98)，吹干晶圆的氮气要求99.8以上的高纯氮！”

    

    看着上面的规定，张国栋长长的舒了一口气，这样的规定，这样的细节，张国栋知道其实还有诸如污水处理，废气排放等环保问题，这也需要大规模的投入，后世的意法半导体就是以环境保护措施施行严格闻名的。

    

    很显然，从初步震撼中回神的技术员们也看到了墙上的规定，也许别的他们不知道，可是那个限用重离子水和99.8的纯氮就让他们吃惊得舌头都要吐出来了。那位小白同志显然对自己造成的震撼也比较满意，不过当他看到张国栋那若无其事的样子后心中又微微的不服气起来，尽管他听总裁说眼前这家伙也算是一个大老板了。

    

    好在龙腾科技已经有了初步的洁净室了，虽然可能没有办法提升到Intel这种比较变态的lass1级，但是从lass1到lass应该还是不难的，只要再增添一些设备，然后在某些设计方面做些必要的改进，对管理进行得更加严格一些应该就没问题了。张国栋是暗暗下定决心，回到深圳后一定要将洁净室的等级给提上去，细节决定成败，既然目前龙腾科技没办法弄到1.微米的生产线，那么就在细节上下功夫！

    

    随着小白同志的带领，张国栋他们进入到硅晶圆的制作室，硅晶圆是一切集成电路芯片的制作母材料。

    

    “我们Intel采用的是柴可拉斯基拉晶法（Z法），你们看，现在机器正在进行拉晶，首先要将特定晶向的晶种浸入过饱和的纯硅熔汤中，然后同时旋转拉出，硅原子便会依照晶种的晶向，乖乖的一层层往上涨，你们看，那儿，就是得到的晶棒。当然我们Intel是不会使用这种原始的晶棒的，我们一般会采用FZ法将之再结晶，将杂质逐出，提高纯度与阻值。”

    

    “各位，看看这里吧，这是对晶棒进行机械加工修边，毕竟刚刚拉出的晶棒外径可不会一致，修完边后我们便用X光绕射法定住主切面的所在，磨出该平面，再以内刃环锯，削下一片片的硅晶圆。最后经过粗磨 (lapping)、化学蚀平 (heial ething) 与拋光 (plishing) 等程序，得出具表面粗糙度在.3微米以下拋光面之晶圆(至于晶圆厚度，与其外径有关) 。 ”

    

    “各位，我给你们讲解得这样细致就是知道，即使给你们我们Intel一模一样的设备你们也不可能复制我们Intel的奇迹，要知道我们做到今天这一步可是经过了快2年的积累，有的时候经验这个东西不是你想学就能学会的。你们看，如此现代化的设备多么令人迷醉，那么是拥有那么迷人的艺术气息，各位，难道你们不感叹么？”看得出，该小白是个设备狂，不过张国栋对于他说得也微微赞同，确实，即使将Intel的设备原样不动的搬到中国也同样生产不出达标的晶圆，说到底还是人的因素，经验这东西是需要摸索和沉淀的。看看后世大众和上汽的合作，一模一样的零件就是生产不出让人满意的质量的汽车就可以知道，其实无论现代化进程有多高，人才是决定一切的因素。

    

    “接下来，我会给你介绍一些设备，希望能让你们有所收获。”！

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